脆性材料用加工油剤

切断加工によって材料を所定の大きさに調整します。この工程ではブレードソーやワイヤソーによる粗切断が用いられます。

粗切断された材料は、ワイヤソー装置を用いて高精度にスライスされ、ウエハ状に加工されます。この工程では遊離砥粒方式，固定砥粒方式が適用されます。

スライスされたウエハは切断面にマークや微小な段差が残っており、これらを除去して後工程の品質を確保するためにグラインディング・ラッピングを行います。

グラインディング・ラッピング後のウエハには、スラリーの残渣や金属イオン、微粒子などの汚染物質が付着しているため、超音波洗浄・薬液洗浄・純水リンスなど複数の手法を組み合わせて徹底的に洗浄します。